5月12日，記者從兩江協同創新區獲悉，近日，在明月湖畔，由重慶大學高端裝備機械傳動全國重點實驗室、重慶大學國家卓越工程師學院科研團隊完全自主研發的超高速機械齒輪增速器順利通過客戶的現場驗收并交付。

據了解，超高速機械齒輪增速器是半導體制造的重要裝備，用于晶圓制造、封裝與測試及輔助設備優化等多個場景。例如，在3D封裝中，該增速器可大幅提升鉆孔效率并減少熱損傷。此外還能優化刻蝕機的氣體流量控制，提升刻蝕均勻性等。

超高速機械齒輪增速器示意圖。兩江協同創新區供圖

驗收現場，驗收組對裝備性能及指標進行了現場核驗，超高速機械齒輪增速器在核驗過程中完成了1小時48000rpm（轉速，即每分鐘旋轉的次數）連續運轉和1小時15000rpm-50000rpm變轉速運轉。增速器振動、溫升及噪音等性能指標均滿足設計要求。

超高速機械齒輪增速器驗收現場。兩江協同創新區供圖

正因超高轉速的使用要求，超高速齒輪增速器的振動、噪聲、溫升、密封等面臨極大的研發挑戰。研發團隊歷時近7個月時間，先后攻克高速傳動系統振動噪聲控制、滑油系統真空密封與高安全設計、傳動系統熱平衡控制、增速器監測系統設計等關鍵技術，成功研制出滿足設計要求的超高速機械齒輪增速器機電一體成套裝備。

據悉，重慶大學高端裝備機械傳動全國重點實驗室定位于空、天、地、海高端裝備精密、重載、高速、高可靠機械傳動核心基礎零部件“卡脖子”問題和重大戰略需求，開展嚙合理論、傳動系統設計制造及運維核心技術的基礎和應用基礎研究。

而重慶大學國家卓越工程師學院面向國家重大戰略和區域經濟發展，構建以智慧能源、工業母機等“N”個國家急需關鍵領域與智能網聯新能源汽車、機器人應用創新“2”個自設特色領域為主的“N+2”學術架構，探索政產學研四維協同卓越工程人才培養可持續發展新機制，強化科技創新與產業創新深度融合發展。下一步，雙方將繼續攜手共進，探索更多科技成果。（新重慶-重慶日報記者 申曉佳）

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